DNP的“光掩模”扩大了半导体制造的基础，为每个人提供舒适便利的社会

半导体集成在智能手机等信息终端，汽车等移动性，ATM和家用电器等所有电器中，支持我们的生活。制造过程中最重要的构件是用于形成精细电路图案的光掩模。自1959年成功试制光掩膜以来，DNP一直挑战各种产品的开发和技术创新。它现在是支持国际半导体市场的主要业务支柱。揭开这个DNP光掩膜的秘密。

活灵活现的...金属活字爷爷。他从事印刷工作已超过100年。通过长期经验培养的DNP小组的丰富知识，它是一个活生生的存在，教导各种各样的事情。

小蜻蜓...印刷物套准^※用的“蜻蜓”衍生的角色。性格严谨，最讨厌弯弯曲曲。用细微的关怀帮助您活下去。

【印刷用语:套准】在多色印刷中将各色印版重叠时的位置精度为“套准”。用印在版面上的名为蜻蜓的寄存器标记来对准。

影响半导体性能的光掩膜

让我们从制造中使用的半导体的解释开始，主题是“光掩膜”。

半导体是现代社会不可或缺的部件，从电饭煲和微波炉等家用电器到智能手机，个人电脑和汽车。本来是表示物体性质的词语，因为它具有介于像金属一样容易导电的“导体”和像塑料一样难以导电的“绝缘体”之间的性质，所以被称为“半导体”。使用此属性可打开或关闭电源并控制设备。

影响半导体性能的是控制这种电流的电路模式的精度。根据1965年英特尔公司创始成员倡导的“摩尔定律”，电路图案的精密化速度据说是“18个月内翻一番”，目前最小的图案尺寸约为12纳米(纳米，10亿倍1米)。它比大约100纳米的流感病毒更精细。作为需要高性能半导体的产品之一，以智能手机为例，据说2024年最新型号的精度比2007年发布的第一代产品高出约7万倍。我会的。

制造这种半导体的重要部件之一是光掩膜。它起着像照片负片一样的作用，并用作原始版本，将半导体芯片的电路图案转移到称为硅晶片的基材上。换句话说，无论电路设计多么精确，如果没有光掩模准确转移它，就不可能大规模生产半导体。

半导体制造工序

1959年，DNP公司结合其在印刷工艺中积累的微细加工技术和光学设计技术，成功开发出半导体光掩模。此后，我们持续开发并为半导体制造商提供一系列高精度光掩模。

产生精密光掩膜的秘密

从这里开始，我们来看看光掩模本身的机制。光掩模是一种透明的板状构件，用于在玻璃或石英上绘制半导体芯片的电路图案。

普通光掩膜的尺寸约为150mm见方。电路图案在中心平面部分绘制为白色。

在光掩模上绘制的电路图案是纳米 (纳米) 单位的超精细电路，据说是头发厚度的10万倍，其制造需要先进的技术。其中，DNP光掩膜精致，缺陷和异物很少，尺寸均匀性约为1.5nm或更小，图案位置偏差小于2nm。光缺陷检测装置的灵敏度为35nm,在约80分钟内检测100mm见方。

光掩膜的制造工序

通过这种方式，DNP通过多年来培养的技术，专有技术和制造工艺的独创性实现了高质量光掩膜的制造。

DNP的目标是建立一个任何人都可以利用先进技术的未来

近年来，除了生成AI, VR·AR,自动操作的渗透之外，由于支持它们的大规模数据中心的需求扩大等社会背景，需要更先进的下一代半导体。具有快速算术处理的下一代半导体有望实现节能效果，例如延长电池寿命和减少数据中心的二氧化碳排放。与此同时，还需要能够转移更精细电路的光掩模。

带有保护膜的EUV光刻用光掩膜。我们已经完成了3纳米制造工艺的开发，并开始开发2纳米工艺。

然而，虽然预计对EUV的响应，但由于使用新的制造设备需要大量的资本投资，因此难以大规模生产。无法解决资金问题的半导体制造商很难在这些尖端领域工作，各公司之间的技术差距正在扩大，这是近年来半导体业界面临的问题之一。

为了应对这些挑战，纳米压印光刻 (NIL) 有望成为传统方法与EUV兼容性之间的差距之一。NIL是一种通过将形成电路图案的模板压接到涂有树脂的基板上来制造超细图案半导体的技术，将半导体制造时的功耗降低到传统方法的约1/10。“低功耗”和“低成本”是一个很大的优点，可以抑制。DNP目前正致力于NIL的大规模生产，随着这一目标的实现，人们注意到更多的制造商将能够制造采用先进技术的半导体，这将导致整个半导体市场的增长我正在聚会。

实现20nm级细微凹凸的NIL (纳米压印光刻) 模板

Discover DNP　半導体製造のカーボンニュートラルを加速する「ナノインプリントリソグラフィ」
https://www.dnp.co.jp/media/detail/10161674_1563.html

DNP将继续致力于NIL模板的批量生产，该模板在低功耗和低成本方面扩大了产品选择范围，同时继续开发EUV等先进领域，有望进一步发展。通过满足各种光掩膜和模板的需求，我们将为实现“民主化”做出贡献，许多公司可以参与先进领域的半导体制造，并实现每个人都可以享受舒适方便的服务和终端的社会。DNP将自己创造一个更美好的未来。